Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 35.253/Н 34 Автор(ы) : Наумов А. В. Заглавие : На кремниевой подложке Место публикации : Химия и жизнь. - 2017. - № 6. - С. 14-17 ISSN: 1727-5903 ГРНТИ : 61.31.47 ББК : 35.253 Предметные рубрики: Кремний-- производство